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的第三代光刻机的精度,光刻机的主体底座系统,此时已经安装就位。该调整的设备基础、防震动、防电磁干扰等措施,都已经布置到位,而且做得很不错。

    车间里,章钕金带领着一般生产管理团队成员,正在检查这台已经解体的第三代光刻机。

    “老李,待会儿安装国产激光光路系统的时候,你一定要小心,多派人手来帮忙安装设备就位。”这时,章钕金一边查看光刻机机的安装孔位,一边吩咐着许振鸣的师傅李全。

    李全是芯片生产线和半导体设备生产线的维保负责人,手下有一帮高级钳工、高级技师等团队成员。

    而且他这人做事比较严谨,此时正蹲在地上查看着光刻机的安装孔位。“嗯,我知道了章总,你放一百二十个心,我们不会乱来的。”李全一边干活,一边安慰有点紧张的章钕金。

    章如钕金此时有点紧张,生怕把许振鸣安排的任务给搞砸了。倘若出现这种事情,这台从米国英特尔公司要来的光刻机就报废了。

    所以,章钕金一边说话,一边目不转睛的盯着李全手中的动作。

    此时此次,李全等人正在测试光刻机安装孔位的变形量等数据。他们手中的动作在章钕金看来非常野蛮和粗糙,随时就可能把这台进口的光刻机给搞坏。

    “怎么样,安装孔位和设备空间的距离有变化么?”这时,许振鸣刚刚走了进来,蹲下身子看向激光发生器的安装作业面。

    听到这句话,李全转过脸来一抬眉,“老外设备的稳定性就是好,安装孔位的非常稳定,跟一开始的数据没什么两样。”

    “那就好!呵呵呵呵……”章钕金笑得很开心。他就怕这台安装好的光刻机主体系统,会有什么问题,到那时就不美了。

    “报告许董,这台老外的光刻机主体,性能非常稳定跟一开始检测的情况一模一样。”

    “许董,我们现在就开始安装激光光路系统么?”

    “少废话,咱们现在就干活。”

    李全手下的安装技师们已经测试好激光光路系统的安装面,把测试的结果跟许振鸣简单汇报了一遍。

    从他们汇报的情况来看,这台用来做样品的第三代光刻机主体系统,性能很不错没受到工作环境的影响,随时可以用来做试验。

    听完这番介绍,许振鸣大手一挥,“那还等什么,咱们现在就开始做试验。”

    等到这个命令,众人立即忙碌起来。

    有人负责开叉车倒运国产氟化氪激光光路系统的备件包装箱;有人负责拆除包装;还有人正在把氟化氪激光光路系统的配件组装成整体,准备往光刻机主体底座的安装孔位上就位。

    看到这一幕,许振鸣并没有插嘴乱说什么。他对光刻机这种设备很陌生,不能指手画脚的乱指挥。

    “老章怎么样?咱们自己生产的激光光路系统,能和老米的光刻机配套吗?”观看了一会儿,许振鸣站起身来问站在一旁的章钕金。

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