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sp; “报告万总，主机系统的震动量误差都在量级以内，不会对光刻程序造成影响。”
“报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内，没有出现异常情况。”
“……”
技术员们非常专注，每出现一个数据就会把情况如实汇报。
通过他们一番比对下来，这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了！
另一边，郝宁教授的团队已经完成了激光光源的能量测试流程，一切也正常。
不但如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度误差很小，在正常范围之内。
由此看来，米国佬的这台激光光源系统没有质量问题，性能非常稳定。
看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”
“这…这事有点邪门啊！”万宁古此时也有点懵，两手一摊，看着许振鸣苦笑，并且直摇头。
今天中午饭的时候，他得到梁宋松的提醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想，米国产的激光光路系统肯定没问题，国产的光刻机主体系统肯定有问题。
但现在一番检测下来，这两台设备的情况都很正常，问题到底在哪里？
“两台设备单体都正常，组装在一起就不正常。在组装的时候，我们做过哪些改动程序？”
这时，许振鸣慢慢的蹲下身子，目光落在光刻机主体系统的接驳机构处。他的意思很明确，就是这个接驳机构出了问题。
“想想也是，我觉得应该是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来，说出自己的猜想。
“不可能！我们这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中心制造的，加工精度能保证。”万宁古一边说话，一边也跟着半蹲了下来。
这时候，梁宋松有点懵懵的。出于自信，他随口就否定了万宁古的判断，“怎么不可能？我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右，加工精度怎么能保障？依我看，就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”
“咱们不能随便乱说，要用实验数据来说话。”万宁古不认输，用手指摸了摸主机系统的接驳机构，感受一下接驳机构的加工面。
这组接驳机构的加工面非常光滑，曲线度、光滑度通过目测应该找不出故障。
所以，许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下，然后侧过脸来问万宁古：“老万，咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验？”
万宁古闻言摇摇头，“光刻机是精密设备，两套系统一定要组装在一起工作才行。否则，光刻流片的精度无法保障。”
按照他的意思，土办法是解决不了目前的测试困境，这事有点难办了。
sp; “报告万总，主机系统的震动量误差都在量级以内，不会对光刻程序造成影响。”
“报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内，没有出现异常情况。”
“……”
技术员们非常专注，每出现一个数据就会把情况如实汇报。
通过他们一番比对下来，这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了！
另一边，郝宁教授的团队已经完成了激光光源的能量测试流程，一切也正常。
不但如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度误差很小，在正常范围之内。
由此看来，米国佬的这台激光光源系统没有质量问题，性能非常稳定。
看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”
“这…这事有点邪门啊！”万宁古此时也有点懵，两手一摊，看着许振鸣苦笑，并且直摇头。
今天中午饭的时候，他得到梁宋松的提醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想，米国产的激光光路系统肯定没问题，国产的光刻机主体系统肯定有问题。
但现在一番检测下来，这两台设备的情况都很正常，问题到底在哪里？
“两台设备单体都正常，组装在一起就不正常。在组装的时候，我们做过哪些改动程序？”
这时，许振鸣慢慢的蹲下身子，目光落在光刻机主体系统的接驳机构处。他的意思很明确，就是这个接驳机构出了问题。
“想想也是，我觉得应该是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来，说出自己的猜想。
“不可能！我们这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中心制造的，加工精度能保证。”万宁古一边说话，一边也跟着半蹲了下来。
这时候，梁宋松有点懵懵的。出于自信，他随口就否定了万宁古的判断，“怎么不可能？我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右，加工精度怎么能保障？依我看，就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”
“咱们不能随便乱说，要用实验数据来说话。”万宁古不认输，用手指摸了摸主机系统的接驳机构，感受一下接驳机构的加工面。
这组接驳机构的加工面非常光滑，曲线度、光滑度通过目测应该找不出故障。
所以，许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下，然后侧过脸来问万宁古：“老万，咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验？”
万宁古闻言摇摇头，“光刻机是精密设备，两套系统一定要组装在一起工作才行。否则，光刻流片的精度无法保障。”
按照他的意思，土办法是解决不了目前的测试困境，这事有点难办了。