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看了看激动不已的专家教授们,胡明镇却非常冷静。荣誉对于他来说已经不算什么,关键是要把国产第一台光刻机给调试好才最重要。
这台光刻机的两套分系统都已经通过验证,确保没问题。但把这两套系统重新组装起来,并且再次做联动调试,这还是第一次。并且在一帮院士级专家的眼皮子低下操作,胡明镇不得不慎重。
“液压组汇报情况!”他眉头一扬,朝自己的一位弟子看过去。
“液压组没问题,液压站数据一切正常!”
“压缩空气组没问题,风机已经启动,空气包的压力很稳定!”
“照明组一切正常!”
“起重组已经做好准备工作!”
“……”
随着胡明镇的这一声令下,各小组负责人都立即逐个的汇报数据,和设备运行状态。
一番检测下来,这台光刻机的所有分系统都已经做好准备,具备马上对接安装的良好状态。
“开始对接!”胡明镇竖起两个大拇指,按照设备对接组装流程下达开始对接的指令。
嘟…嘟…嘟……
吊装指挥长吹起了口哨,开始指挥叉车工起重,横移。
看到这一幕,刘教授、董教授、单教授等人都不由得屏住呼吸,心情紧张的见证华国第一台KrF光刻机的对接接驳仪式。
随着“啪”的一声响,激光光路系统和光刻机主体系统正式对接好。见胡明镇的团队没有做任何的对位精调就锁定了激光光路系统,刘教授等人都非常吃惊。
“这…这能对准吗?”
“激光光路系统的重量特别大,接驳箱的体积和接触面又这么小,液压锁定时怎么能调节好轴向、水平向、垂直向的误差?”
“我看不明白!”
刘教授等人狐疑的看向胡明镇,表情比桂长树那一组的专家们还要骇然。
他们这帮人都院士级教授,理论水平非常高,即便横跨一个专业还是能说出一二三的。正是因为内行,他们这才更震惊。
“诸位院士不要慌张,我们这套PDIX震动调节系统会自动适应和调节安装精度误差的!”这时,负责解说的梁宋松得意洋洋的一笑。
他用手中的一跟铝合金小细棒,指了指PDIX系统的工作站屏幕,把水平向、垂直向等各项参数的数据位置指示出来。
这时候,负责操作工作站的技术员已经按下启动键,让PDIX系统开始自动调节各项数据。
于此同时,郝宁教授的团队成员们也忙碌起来,启动高精度YMDM三坐标测量仪、高精度YMDM电子水平仪、高精度YMDM激光测距等精密仪器。这些仪器都和测量工作站相连,把测量的数据实时反馈到电脑屏幕上。
“报告胡总,垂直度误差小于0.0000001,水平向误差小于0.0000001……”技术员看着数据,立即把情况向胡明镇汇报。
这次测量的数据都正常,符合光刻机对接安装技术参数。倘若用一般的测量仪器来检测光刻机主体系统和激光光路系统的安装精度误差,此时的数据一定是0.0000。
看到这一幕,刘教授等人顿时都来了兴趣。
“老胡,你这套高精度的多三维测量仪器是从哪个国家进口的?我们学... -->>
看了看激动不已的专家教授们,胡明镇却非常冷静。荣誉对于他来说已经不算什么,关键是要把国产第一台光刻机给调试好才最重要。
这台光刻机的两套分系统都已经通过验证,确保没问题。但把这两套系统重新组装起来,并且再次做联动调试,这还是第一次。并且在一帮院士级专家的眼皮子低下操作,胡明镇不得不慎重。
“液压组汇报情况!”他眉头一扬,朝自己的一位弟子看过去。
“液压组没问题,液压站数据一切正常!”
“压缩空气组没问题,风机已经启动,空气包的压力很稳定!”
“照明组一切正常!”
“起重组已经做好准备工作!”
“……”
随着胡明镇的这一声令下,各小组负责人都立即逐个的汇报数据,和设备运行状态。
一番检测下来,这台光刻机的所有分系统都已经做好准备,具备马上对接安装的良好状态。
“开始对接!”胡明镇竖起两个大拇指,按照设备对接组装流程下达开始对接的指令。
嘟…嘟…嘟……
吊装指挥长吹起了口哨,开始指挥叉车工起重,横移。
看到这一幕,刘教授、董教授、单教授等人都不由得屏住呼吸,心情紧张的见证华国第一台KrF光刻机的对接接驳仪式。
随着“啪”的一声响,激光光路系统和光刻机主体系统正式对接好。见胡明镇的团队没有做任何的对位精调就锁定了激光光路系统,刘教授等人都非常吃惊。
“这…这能对准吗?”
“激光光路系统的重量特别大,接驳箱的体积和接触面又这么小,液压锁定时怎么能调节好轴向、水平向、垂直向的误差?”
“我看不明白!”
刘教授等人狐疑的看向胡明镇,表情比桂长树那一组的专家们还要骇然。
他们这帮人都院士级教授,理论水平非常高,即便横跨一个专业还是能说出一二三的。正是因为内行,他们这才更震惊。
“诸位院士不要慌张,我们这套PDIX震动调节系统会自动适应和调节安装精度误差的!”这时,负责解说的梁宋松得意洋洋的一笑。
他用手中的一跟铝合金小细棒,指了指PDIX系统的工作站屏幕,把水平向、垂直向等各项参数的数据位置指示出来。
这时候,负责操作工作站的技术员已经按下启动键,让PDIX系统开始自动调节各项数据。
于此同时,郝宁教授的团队成员们也忙碌起来,启动高精度YMDM三坐标测量仪、高精度YMDM电子水平仪、高精度YMDM激光测距等精密仪器。这些仪器都和测量工作站相连,把测量的数据实时反馈到电脑屏幕上。
“报告胡总,垂直度误差小于0.0000001,水平向误差小于0.0000001……”技术员看着数据,立即把情况向胡明镇汇报。
这次测量的数据都正常,符合光刻机对接安装技术参数。倘若用一般的测量仪器来检测光刻机主体系统和激光光路系统的安装精度误差,此时的数据一定是0.0000。
看到这一幕,刘教授等人顿时都来了兴趣。
“老胡,你这套高精度的多三维测量仪器是从哪个国家进口的?我们学... -->>
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